- [1]双频电容耦合放电等离子体流体动力学数值模拟,国家自然科学基金项目,2005-09-01,结题
- [2]基于水平集方法的三维等离子体刻蚀剖面演化规律研究,大连理工大学理学学科研究基金项目,2008-07-15,2010-12-31,结题
- [3]脉冲调制等离子体增强原子层刻蚀多尺度研究,国家自然科学基金项目,2013-09-25,2017-12-31,结题
- [4]反应离子刻蚀微观不均匀性的跨尺度研究,国家自然科学基金项目,面上项目,2009-09-25,2012-12-31,结题
- [5]四面体网格划分技术合作项目,企事业单位委托科技项目,2018-11-15,2021-06-07,结题
| 共 5 条 1/1 | 首页上一页下一页尾页 |
